제품 세부정보
주로 금속 스퍼터링에 사용됩니다.-금속 재료 또는 합금. 생성된 코팅은 우수한 접착력, 밀도 및 재현성을 나타내므로 재료 연구 및 정밀 부품 제조에 종사하는 연구 기관, 대학 및 기업에 이상적인 장비입니다.
제품 적용사례
기본 기술 사양
| 모델 및 치수 | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZ-2700B |
| 치수 (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| 건설 | 수직, 전면-오프닝, 304 스테인레스 스틸 | |||||||
| 회전 속도 | 0–30RPM (변수-주파수 속도 제어) | |||||||
| 펌핑 속도 | 대기압에서 3.0까지×10⁻³ 파인 ≤15분 (무부하) | |||||||
| 궁극의 진공 | 3.0x10－⁴ P | |||||||
| 고정물 | 센터-장착형 회전 우산 프레임, 싱글-조각 또는 분할-유형 | |||||||
| 난방 시스템 | 주변 온도에서 350까지 조정 가능한 기갑 히터°C | |||||||
| 진공 시스템 | 낮음-진공 펌프 세트 + 높다-진공 펌프 + 극저온 트랩 | |||||||
| 제어 시스템 | 산업 제어 시스템 + 터치스크린 + PLC, 통합 매뉴얼/자동 제어 | |||||||
| 가스 공급 시스템 | 질량 유량계 제어 | |||||||
| 코팅 시스템 | 저항 증발 소스 + 전자총 + 이온 소스 | |||||||
| 코팅 두께 제어 시스템 | AR, 자외선/IR 차단 필터, AF, 안티-반사 코팅, 장식 코팅, 대역 통과 필터, HR 코팅 등 |
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| 코팅 응용 | 인포케어 | |||||||
| 전원공급장치 | 세-5단계-와이어 220/380V 50Hz; 전압 변동 범위: 3-242단계–399V, 싱글-198단계–231V; 주파수 변동 범위: 49–51Hz | |||||||
| 물 공급 | 산업용 연수; 수압: 0.2–0.6MPa; 입구 수온 ≤25°C | |||||||
| 가스 공급 | 0.4–0.6MPa | |||||||
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